産業技術総合研究所共同研究事業
Project
FLAP : 単結晶ダイヤモンド 成膜評価中
ADD : 多結晶ダイヤモンド受託成膜 & 開発案件の対応！
ダイヤモンド成膜設備
Equipment
【MWCVD】マイクロ波プラズマCVD法
メリット
成膜速度が速い（Max10μｍ/時間）、不純物の混入が少ない
デメリット
Φ50ｍｍがMax 凹凸品には不向き
【HFCVD】熱フィラメントCVD法
メリット
大口径品に対応可能・バッチ処理が可能、凹凸品に対応可
デメリット
成膜速度が遅い（Max2.0μｍ/時間2021年現在）
ダイヤモンドの特性・応用と物性値
Spec
単結晶ダイヤモンドの特性・応用
単結晶ダイヤモンドの物性値
| 項目 | 値 | 単位 |
|---|---|---|
| 硬度 | 10000 | (kgf/mm2) |
| 密度 | 3.5 | (g/cm3) |
| 熱伝導性 | 600～2000 | (W/m・k) |
| 熱膨張係数 | 1.1 | (×10-6/K) |
| 音速 | 18000 | (m/s) |
| ヤング率 | 1050 | GPa |
| 屈折率 | 2.4 | |
| 誘電率 | 5.7 | |
| バンドキャップ | 5.5 | (eV) |
| 絶縁破壊電界 | 56 | (105 V/cm) |
| 移動度（電子） | 4500 | (cm2/Vs) |
| 移動度（ホール） | 3800 | (cm2/Vs) |
FLAPで 現在、単結晶ダイヤモンドの優れた特性を
応用できるよう成膜評価を進めています。